ダイキン工業株式会社

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エッチング剤

最先端の半導体工場で使用されている高純度エッチング材料です

エッチング剤をウエット・ドライともに供給できるのはダイキンのみであり、いずれも世界No.1クラスの高純度です。


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特長と特性

  • バッファードフッ酸に界面活性剤を添加したBHF-Uをラインナップしています。
  • 酸化膜へのエッチングレートは変化することなく、濡れ性の向上、粒子付着防止、金属汚染防止、Si表面のエッチング抑制が可能です。

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グレード

種類 グレード 特長 テクニカル
データシート
ウエット
エッチング剤
フッ化水素酸(HF)※1
(50%、49%)
高品質(含有金属、不純物 低)
フッ化アンモニウム(NH4F)
(40%)
高品質(含有金属、不純物 低)
バッファードフッ酸(BHF) 高品質(含有金属、不純物 低)
界面活性剤入り
バッファードフッ酸
(BHF-U)
浸透性向上、粒子付着低減
(研究開発品)
ジーレックス・
バッファードフッ酸
(ZielexBHF)
エッチングレート変化抑制(対従来品)
その他特性は界面活性剤入りバッファードフッ酸と同等
ドライ
エッチング剤
PFC-14(CF4) 高純度(99.99%以上)※2
PFC-116(C2F6)
PFC-C318(C4F8)
HFC-23(CHF3)
HFC-32(CH2F2)

※1 フッ化水素酸(HF)は、「外国為替及び外国貿易法」の輸出令別表第1に定められた貨物に該当するため、輸出する場合は、日本政府の輸出許可申請など必要な手続きをしてください。
※2 数値は代表値であり、保証値ではありません。