ダイキン工業株式会社

フッ素の市場・用途

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半導体・液晶製造に活用されるフッ素

多彩なフッ素化学製品が半導体や液晶の製造工程を支えています

わずかな異物も許されない世界で、高純度で耐薬品性に優れるフッ素樹脂やフッ素ゴム、プロセス材料など、高品質なフッ素化学製品が役立っています。

半導体・液晶製造における用途

【プラント設備】薬液配管材料

薬液配管材料

薬液用の配管材料には高純度で耐薬品性に優れたフッ素樹脂 ネオフロンPFAが多く使われています。

対象製品
要求特性
  • 耐薬品性

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【プラント設備】排気ダクト

排気ダクト

排ガス用のダクトでは難燃性と耐薬品性に優れたフッ素塗料が多く使われています。

対象製品
要求特性
  • 耐薬品性・難燃性

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【プラント設備】薬液タンク

薬液タンク 薬液タンク

タンク内の薬液を安全かつ高純度で維持するために、高純度で耐薬品性に優れたフッ素樹脂のライニングシートが用いられます。また、タンク外部にゼッフル遮熱塗料を塗布することで、より長期間タンクを使用することができます。

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【製造設備】チューブ・継手・バルブ・フィルター

チューブ・継手・バルブ・フィルター

半導体製造装置内ではチューブ、継手、バルブ、フィルターなど多くの部品で耐薬品性に優れたフッ素樹脂 ネオフロンPFAが使われています。

対象製品
要求特性
  • 耐薬品性

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【製造設備】ダイヤフラム・ベローズ・薬液槽

ダイヤフラム・ベローズ・薬液槽 ダイヤフラム・ベローズ・薬液槽

耐薬品性に優れたフッ素樹脂 ポリフロンPTFEは半導体製造工程で多く使用されています。その中でも耐屈曲性に優れたポリフロンPTFE M-112はダイヤフラム、ベローズなどの重要部品材料として使われています。

対象製品
要求特性
  • 耐薬品性

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【製造設備】シール材

シール材

半導体製造装置内のシール材として、高純度で耐薬品性に優れたDUPRAが用いられています。

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【クリーンルーム】エアフィルター

エアフィルター

フッ素樹脂を濾(ろ)材に用いたエアフィルターは低圧損、高効率、優れた耐薬品性を発揮し、クリーンルームに用いられています。

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【プロセス材料】エッチング剤

エッチング剤

高いクリーン性が要求される製造工程で、高純度のエッチング剤が使用されています。

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【プロセス材料】ファインケミカル(カスタム合成)

お客様がデザインされた含フッ素のARC(反射防止)材料、絶縁膜材料をカスタム合成できます。

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